SiC加熱芯棒的精制方法
2005-12-16
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本方法涉及通過(guò)表面精制來(lái)提高SiC加熱芯棒質(zhì)量的方法。本方法的目的是提供一種精制SiC加熱芯棒的壽命。本方法的特征在于,在基本上穩(wěn)定的溫度下,在一段長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi),通過(guò)無(wú)機(jī)酸或無(wú)機(jī)混合酸進(jìn)行SiC加熱芯棒的酸性處理;接著在升溫下用鹽酸處理SiC加熱芯棒,隨后用水洗滌,并干燥;使用由主要組分是Si(OC2H5)4的硅氧烷化合物和氧化保護(hù)劑組成的溶膠溶液多次浸漬SiC加熱芯棒,并干燥,直至不再吸收溶膠溶液,其中硅氧烷化合物由Si(OC2H5)4-H2O-C2H5OH-HCL體系組成,氧化保護(hù)劑由通過(guò)Si(OC2H5)4水解制備和SiO2以及Al2O3和/或ZrO2組成,在溶膠溶液轉(zhuǎn)化為無(wú)定形凝膠狀態(tài)之后,在高于1000℃的溫度下,短時(shí)地?zé)崽幚鞸iC加熱芯棒。
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